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01
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Edwards 是领先的开发商和生产商,提供精密的真空泵系统产品、减排解决方案和相关的增值服务。
我们的产品是半导体、平板显示器、LED 和太阳能电池的制造过程中不可缺少的部分,应用于日益多范围化的工业过程,包括电力、玻璃和其他涂层应用、钢和其他冶金、制药和化学;适用于科学仪器和许多研发应用。
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低温泵工作时间
电弧蒸发源和多弧离子镀概述
多弧离子镀技术的核心是电弧蒸发源。该新型蒸发源是冷阴极电弧放电自蒸发自电离固体蒸发源。与其他传统离子镀蒸发源相比,它具有以下显着特征:1高沉积速率,TiN可达100nm / s〜1000nm / s,
喷射法泄漏时应注意的几个问题
1由上式给出的检漏灵敏度是在理想条件下获得的,实际检漏灵敏度可能远低于计算值。原因之一是来自喷嘴的氦气流散开了,并且混合了一定量的空气以降低氦气的浓度。第二个原因是射流的方向无法与泄漏孔完全对准。方向
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